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チャンバーってなに?

1 :イセリナエッシェンバッハ:01/10/30 17:08 ID:MF8cUZo+
半導体工場から発注があったんよ。
せやけど、なにに使うんかようわからへんねん。
でさ。
真空チャンバーとかステッパーってなに?
それかさあ。そういう解説が出てるサイトおしえてくれへん?

2 :名無しさん@1周年:01/10/30 18:14 ID:yjALBNCp
ttp://mentai.2ch.net/test/read.cgi/kikai/994321087/-100

だけど・・・えぇ・・・。

3 :名無しさん@1周年:01/10/30 22:21 ID:5Q7AWFaH
真空チャン場:どんがら。アルミで出来ていることが多い。
ガスを流して金属の膜をつけたりするのに使う。
ステッパー:古くはステップ安堵リピートという動きかたからきている。
パターンをウエハーに焼きつけるのに使う。写真の引き伸ばし機に似てる。

4 :名無しさん@10周年:01/10/30 22:29 ID:sbe4/MeF
気取ってチェインバーと言っていた教授がいたな。でも真空モノは
SUSが多いんじゃないの。アルミの溶接は難しいよ。特に高真空は
Heリークディテクターで徹夜でリークテストやったときは泣いた。
業者が母材と違う溶接棒を使ったために微小クラックが出来ていたのだ。

5 :名無しさん@1周年:01/10/30 22:44 ID:5Q7AWFaH
アルミは当然削り出し。(もったいない)
高真空にはSUSのほうがデガスが少なくてよいと思う。
リークチェックは泣くね。可動部のおかげでオーリングで
シールなんて構造になってると泣きたくなるね。
Oリングに今どきグリス塗るばかにも泣きたくなるね。
E-10Torrなんて気楽に言うひとにも泣きたくなる。

6 :名無しさん@1周年:01/10/30 22:46 ID:MVtScRe9
アルミの真空チャンバなんて聞いたことないぞ。

7 :名無しさん@1周年:01/10/30 23:13 ID:qRCyhVbn
CVDでなかったっけ?

8 :名無しさん@1周年:01/10/30 23:37 ID:T33r6Aja
1の働いている所のように実績の無いところに持っていくのは勇気があるなぁ
それとも1がそこの現場で経験がないだけ?

SUS以外のチャンバは見たことありません、

9 :名無しさん@1周年:01/10/30 23:47 ID:0ZU9sMoh
AMATでAl使ってた

10 :名無しさん@1周年:01/10/30 23:48 ID:0ZU9sMoh
アルミでも9乗はいけます

11 :半導体屋さん@ピンキー:01/10/31 05:25 ID:6zzzWYbP
最近はほとんどAlだよ。軽いからメンテもぜんぜん楽だし。
>>8
禿同、でも加工屋なんてそんなもんだろ。だから初めてのところは一から説明しないといけないからもう大変。

12 :名無しさん@1周年:01/10/31 22:13 ID:5GlM2lCd
研究のかたがたはアルミは使ってないかもなあ。
ところでみんな到達真空どれくらいで使ってるの?(PVD)
E-9 TorrからE-10 Torrでうちは使ってるけれど大学に出向したやつは
金属が酸化するのでPtしか電極になりません、とぼやいておったが
「到達真空なんぼ?」と尋ねたところE-6 Torrぐらいしかゆかんと
言っておった。業界で非常に有名な教授のクリーンルームだが
到達真空を上げる必要性を理解してくれないのでチャンバーのつくりなおし
もできずにはまっておった。で、みなさんにお尋ねしたいのは
「世間ってこんなもん?」ということです。膜種によって要求は違うと思うが
だいたいのところどんなもんでしょう?

13 :俺を殴ってくれ:01/10/31 22:53 ID:tRLUSbtg
チャン・カー → お母さん
チャン・トー → お父さん
チャン・バー → お婆さん

14 :名無しさん@10周年:01/10/31 23:49 ID:wlCyh3NM
いまだにトリチェリですか。もうPaかと思って一所懸命なじもうとしていたのに
ALは楽でいいけどNWとか傷は大丈夫なの?

15 :名無しさん@1周年:01/11/01 00:25 ID:o0LBXB7C
チャンバならいざしらず
ステッパーなんて、わけのわからんところで作れるはずないやん
ネタではないのか?

16 :名無しさん@1周年:01/11/18 06:04 ID:uO2XAfbR
有る身のチャン婆や真空が助っ人もあるよ。
有る身が助っ人ってのは有る身のエッジをクランプして潰してる。
そんかわりベーキング温度が低め。これ。
しかしこれを使うとNWフランジのテーパの角度、すべりも
重要視されるという危険も伴う、諸刃の剣。
素人にはお薦め出来ない。
まあお前、1は、牛鮭定食でも食ってなさいってこった。

17 : :01/11/18 09:14 ID:w0n84j1H
沖縄では、チャンプラーと言う。

18 :名無しさん@1周年:01/11/18 11:41 ID:Bub1bKHV
2ストエンジンの排気管。

19 :名無しさん@1周年:01/11/18 11:43 ID:6oQ8IOfA
家庭ではタッパーで十分。

まだまだPaでなくてTorrなんだね。
e^ -7〜-8Paまで到達するにはポンプどんな
組み合わせなんだろう。
ロータリーで1Paぐらいまで引いて、いきなりクライオ?
ターボで引いてイオン?最近のターボは引くらしいね。

20 :名無しさん@1周年:01/11/19 07:24 ID:Ri9Oxwbu
ロータリー→ターボ→イオンorクライオだろ?

21 :so:01/11/19 20:46 ID:D/bAhRkO
ターボは理論的限界があるから引きはクライオには負けるよ。
まず、時間的に勝負にならない。
でも、クライオは再生法間違えると爆発するよ!!
アネルバからブースター付のターボが出たけど早くて便利。
中は樫山製なんだけどね。中国工場の。

22 :名無しさん@1周年:01/11/19 23:42 ID:6CJHabmH
 そう言えば昔 Hg使ったヒックマンポンプてあったよね。4段5段、6段とか
あと引くならTiゲッターとかかな。そういえばソープションなんて最近見ないな。
でも最近のターボはすごいね、200Paあたりからひけるんでしょ。

23 :名無しさん@1周年:01/11/20 00:04 ID:K84VprLl
>>21 ブースターってメカニカルブースターポンプ?
   使った事無いけどロータリーポンプに比べて
   良いトコ悪いとこ詳細きぼんぬ。

>>22 200Paってほとんど大気じゃん!?

24 :名無しさん@1周年:01/11/20 00:10 ID:HV+rOREa
最近は、大気から引けるターボもあるよ。

25 :so:01/11/21 20:41 ID:GF9jRajx
>23さん
ども、21です。真空に引くレベルはさほど変わりません。
ロータリーポンプが10^-1Paでメカブが10^-2Paですから。
ただ、大気からメカブでは排気特性の点から時間がかかるので、
ロータリーの方が早く引ける。
一般的にはロータリーでメカブが引きやすいとこまで引いてもらって
一緒に使う組み合わせがベストではやいです。
ロータリーのいい所は、大気から早く引けること。
悪いところは、油で汚れる。
メカブは、排気量多くて油少ない、振動少し。
でも、大気からはおそい。(大気から早いやつは値段が高い)
アネルバのブースター付のやつは、一体もの。
ターボの羽車行く前のインデューサみたいなもの。

26 :so:01/11/21 20:44 ID:scpBPmK+
>23さん
ども、21です。真空に引くレベルはさほど変わりません。
ロータリーポンプが10^-1Paでメカブが10^-2Paですから。
ただ、大気からメカブでは排気特性の点から時間がかかるので、
ロータリーの方が早く引ける。
一般的にはロータリーでメカブが引きやすいとこまで引いてもらって
一緒に使う組み合わせがベストではやいです。
ロータリーのいい所は、大気から早く引けること。
悪いところは、油で汚れる。
メカブは、排気量多くて油少ない、振動少し。
でも、大気からはおそい。(大気から早いやつは値段が高い)
アネルバのブースター付のやつは、ちょっとブースターの意味が違う。
一体もの。
ターボの羽車行く前のインデューサみたいなもの。

27 :23:01/11/24 23:31 ID:kS9eQ2rs
>>23です

>メカブは、排気量多くて油少ない、振動少し。
オイルフリーと思ったが違うんですね?
オイルバック有り=要ポンプ停止後大気開放?

>24 :名無しさん@1周年 :01/11/20 00:10 ID:HV+rOREa
>最近は、大気から引けるターボもあるよ。
詳細詳細キボンヌ!

28 :so:01/11/27 20:34 ID:M5dHKJrk
>23さん
ども、21です。
僕が使ったことあるメカブ(ルーツポンプとも言う)は、シリコンオイル
使っていたよ。僕の知ってる範囲では大気から引けるオイルフリーは
ドライポンプしかしりません。ごめんなさい。
ロータリーほどひどくないけどメカブもオイルバックあったと思います。

>大気から引けるターボもあるよ。
違う人への質問だけど、気になったので・・。
樫山工業とアネルバが出してるよ。ホームページで見られます。
樫山・・ターボモリュキュラードラッグポンプ??だったかな
アネルバ・・ターボ分子ポンプのなかにあったはず。
ターボにメカブくっつけたって事らしいよ。
ただ、ターボとかって水蒸気成分引くの特に弱いから
大気からだと排気時間が遅いと思うよ。

29 :名無しさん@1周年:01/12/05 23:40 ID:3S5VujST
昔、逆回転したターボ見たことある。
立ち上げたら、tcが落ちてきた。
こえー。

30 :名無しさん@1周年:01/12/07 02:51 ID:hrsw5csw
tcってなんですか?
サーモカップル?

31 :親切な人:01/12/07 02:56 ID:q6PC4yhj

ヤフーオークションで、幻の人気商品、発見!!!

今は無き「コピーガードキャンセラー」↓
http://page2.auctions.yahoo.co.jp/jp/auction/b18505597

ヤフーオークション内では、現在、このオークション
の話題で、持ちきりです。

32 : ↑の設計者です :01/12/07 03:05 ID:oDM5eRCl

↑は、最近のビデオには無力です。だから持ち主が売り飛ばしたがってるようです。

 くれぐれも注意。        以上、設計者からの裏情報でした。


.

33 :名無しさん@1周年:01/12/08 00:15 ID:/ARKG3CO
>30
そうっす。サーモかっぷるです。性格には針が落ちてきた(圧力が上がった)
。そのとききたサービス万非常に態度わるし。

34 :名無しさん@1周年:01/12/11 03:51 ID:1Z9oc4Tn
今日、メカブ壊した・・・
間違えて、粗引き弁開けたらメカブ壊れた。
やっぱりインバーター付けて欲しいよなぁ〜

35 :名無しさん@1周年:01/12/14 23:16 ID:U8ntfLjW
この間フル回転中のターボポンプで、
大気のチャンバーのバルブをおもっきり
開けてしまった。
ブフォッーンとものすごい音がしてたYO(鬱

36 :名無しさん@1周年:02/01/01 23:28 ID:Bq38yn4l
test

37 :名無しさん@1周年:02/05/03 00:04 ID:GxVGNsJE
チャンバー内のガンコな汚れをきれいにとる方法教えて!

38 :名無しさん@1周年:02/05/03 01:22 ID:ZgjFqNNu
汚れの種類を教えれ!!

39 :名無しさん@1周年:02/05/03 01:45 ID:xCSFhpJM
>>37
むかしかみやすりでごしごししちゃたヨー。
ガリヒ素だったのに。

40 :un:02/05/27 02:28 ID:MNjt4q6t
樫山です(笑)
ターボブースターは、
ねじ溝ポンプの最適化でメカブ領域から引けるっていう
ターボポンプです.
-8〜-9Torrまでいければ十分でしょう.
クライオ使って-11まで引く用途も限られているのでは?

41 :名無しさん@1周年:02/05/27 03:02 ID:4XAS+sPm
なんでエドワーズのドライポンプはすぐ壊れるのでしょう?

42 :un:02/05/27 21:21 ID:v4diy7KR
>>27
EDさんのIP○は、1atmから引けますよ.
でも、あまり普及して無いみたい.
ユーザさんいたら理由を聞きたいものです.
>>41
さんのコメントが理由でしょうか?

ちなみに樫山TBP1000は、
650Pa(=5Torr)連続排気可能です.

43 :名無しさん@1周年:02/05/30 06:51 ID:06VY6FcD
http://216.239.51.100/search?q=cache:itEm8TmQGNMC:k-server.org/tgak/29%2520captain%2520tsubasa%2520-%2520Opening%2520Theme.htm+%83%60%83%83%83%93%83o%82%E0%81%40%82%BB%82%EA%82%C9%82%C2%82%AF%82%C4%82%E0&hl=ja

チャンバと言えばこれだろ

44 : :02/05/31 01:19 ID:rMZve09J
>>41
たぶんポンプの温度がほかと違うんだろ。
熱すぎて疲労が起こりやすいのか
低すぎてバイプロたまりやすいのか

良くわかんないけど

45 :発手G:02/06/17 16:19 ID:9N2c8oXg
エンバイロメンタルチェンバー。スッテパーの外装とでもいえば分かり易いか。
要は機械に覆いかぶせる箱だな。


46 :名無しさん@1周年:02/07/15 21:10 ID:toSwGg6R
吸ってパー

ドラッグ?

47 :名無しさん@1周年:02/08/04 00:31 ID:IWketv6U
うちは真空チャンバーはALで加工してますよ。某大手メーカーの組み立て依頼・加工してるけどALが多いですね。

48 :名無しさん@1周年:02/08/04 02:01 ID:JJEishLA
結構真空チャンバーってAL多いと思うけど、小さなSEMメーカーなんかは
軟鋼にカニゼンテでチャンバー作ってるね!
磁性との関係みたいだけど!

49 :名無しさん@1周年:02/08/04 02:11 ID:RjLm3j67
デニス・チャンバーズ

50 :名無しさん@1周年:02/08/04 22:26 ID:P+MfBih1
http://science.2ch.net/test/read.cgi/material/997944184/
の178,181でつ。
うちはアルミ削り出し→アルマイト処理チャンバだよ。
それ以外のチャンバもあるけどね。

個人的には
プラズマ用チャンバ→アルミもしくはアルミ表面を処理したものが多い
分析用UHVチャンバ→SUS
だとおもふ。

ちなみに樫山さんのってCF*, O*, F*等のラジカルが流れ込んできても
耐えられる構造でしょうか。

51 :名無しさん@1周年:02/08/19 19:54 ID:lxL/KEsD
久々来ました.40です
>ちなみに樫山さんのってCF*, O*, F*等のラジカルが流れ込んできても
>耐えられる構造でしょうか。
材料、表面処理...この辺りでクリアできるので
問題ありません.
これからは、”ガリウム”排気ですかねぇ?


52 :名無しさん@1周年:02/11/17 01:35 ID:S3h7iL23
婆ちゃんのことだYO!

53 :名無しさん@1周年:02/11/17 22:57 ID:xJynFB5G
部屋の事だよ
チャンバーって聞くたんびに「それは2stの膨張室のことだろ」とはじめの方はすげえ気持ち悪かった
チャンバークリーニングと言われて焚き火を思い浮かべてた

54 :.:02/11/29 15:31 ID:4TCOPCsp


55 :名無しさん@1周年:02/12/04 01:02 ID:ccty+TG1
チャンバーとは、簡単に言えば「部屋」の事。
真空炉なんかは、きっちり密封した「部屋」が必要なので良くこの
言葉が出てくるが、これに限らず部屋状になっている部分をチャンバーと言う。

56 :名無しさん@1周年:02/12/04 07:13 ID:gI8WuO3y
2サイクルエンジンのマフラーも「チャンバー」って言うよな。
バイクだけかな? 

57 :名無しさん@1周年:03/01/02 19:43 ID:N8pAHn40
トレーラーのブレーキのおおもと

58 :山崎渉:03/01/11 08:13 ID:kPUK8KwF
(^^)

59 :山崎渉:03/01/18 14:15 ID:8FQ0dRpX
(^^)

60 :山崎渉:03/03/13 14:19 ID:XsBsiqkW
(^^)

61 :名無しさん@3周年:03/03/13 14:23 ID:ToFiianH
チャンバー?
銃の弾を装弾するとこのやつかな?

62 :名無しさん@3周年:03/03/21 19:40 ID:mZaB/9n4
チャンバー?
ナチスがアウシュビッツに建てたガス室ダロ。

63 :名無しさん@3周年:03/03/23 23:31 ID:rF+HX+QL
シンガポールに観光行った時、セントサ島に博物館があった
サレンダー・チャンバーが二つあったな
一つは山下将軍が英軍に降伏をせまる場面の蝋人形
もう一つは英軍が日本軍に降伏せまるところ

64 :名無しさん@3周年:03/03/25 01:19 ID:F8C9ZIhX
横隔膜だろ?

65 :  :03/03/25 07:18 ID:URHgVL2G
お彼岸で実家に帰ってきた孫の面倒見てる、高齢の女性の事で
はないか?

66 :山崎渉:03/04/17 09:16 ID:TD8w3T+L
(^^)

67 :山崎渉:03/04/20 04:22 ID:NZVEJMjC
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

68 :山崎渉:03/05/22 00:22 ID:z4HA051A
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

69 :名無しさん@3周年:03/07/16 10:04 ID:Gp9xMlPX
そりゃ ばぁちゃん じゃ

70 :名無しさん@3周年:03/07/17 19:43 ID:OGiHHMbh
エッチチャンバーは、WETくりーにんぐが大変だ。。

71 :名無しさん@3周年:03/07/17 22:04 ID:f15YLdEe
吸気チャンバーと排気チャンバーありますが

ってかバイクの話じゃないよね

72 :マッチャン:03/08/13 15:19 ID:rrx5Q/L2
チェンバー 1 [chamber]

室。会議室。


73 :x:03/08/13 15:23 ID:f7gXw2I8
スレンダーなロリ体形ながらもオマンコ方はしっかり発達しちゃってます。
大きなオチンチンを喉の奥までくわえ込んでのフェラは大人顔負けですぞ。
挿入シーンは少ないながらも小さなオマンコにしっかり挿入されているシーンが勃起モノ!
若い娘はいいですな。

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74 :マッチャン:03/08/13 15:23 ID:rrx5Q/L2
部屋(室)という英語チェンバー 1 [chamber] の日本語読みがチャンバーだと思います。
容器状の部屋になっていると思います。


75 :名無しさん@3周年:03/10/25 11:39 ID:K8rEC02z
チャンバー鋳物で作っちゃたけど
だめかしら?

76 :名無しさん@3周年:04/02/12 16:30 ID:SEMlDbPq
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