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金属SOI基板とは?

1 :名無しさん@1周年:2001/07/10(火) 18:54
下のスレッド理系板に立てたんですが、
結局わからなかったのでこの板で聞いてみたいと思います。
金属SOI基板とはどんなものか教えていただけませんか?

1 名前:Nanashi_et_al. 投稿日:2001/07/09(月) 11:32
トランジスタの高速動作に金属SOI基板が有効だと
言われてますが、金属SOI基板がどのようなものなのか
詳しい方教えていただけませんか?
何のために金属基板上にSOIを作ってるんでしょうか?



2 名前:Nanashi_et_al. 投稿日:2001/07/09(月) 16:59
専門外でよく分からないけど確か、酸素を加速して基板に当てて
その基板の中に酸化膜層を作るんじゃなかったっけ?
そんで能動領域を狭めることによって低消費電力に
できる(ものだったような気がする)
でもこれはただのSOIか、、、
金属って何だろ?普通半導体基板じゃないの?


3 名前:1 投稿日:2001/07/09(月) 17:17
SOIがどんなものかは、知っているんですが、
このURLのページの下の方にでてくる
金属SOI基板って一体どんなものなんでしょう?
http://ne.nikkeibp.co.jp/NE/2000/000131/kouza.html


4 名前:1 投稿日:2001/07/09(月) 17:18
金属が何に使われてるか謎なんです。


5 名前:2 投稿日:2001/07/09(月) 17:47
どうでもいいけどこの研究室ドクター多いね、、
ごめん、確かに何に使われてるかわかんない。
MMICでのground planeとして使ってんのかなぁ?
金属SOI基板の構造が分からないからね、、、


6 名前:Nanashi_et_al. 投稿日:2001/07/09(月) 17:59
パワーデバイスでは放熱対策で使われる事あるけど、
普通のデバイスじゃ必要ないしねー。なんだろ。


7 名前:Nanashi_et_al. 投稿日:2001/07/10(火) 07:02
大見先生に訊いてみれば? (...って俺も知らん)
つうか、この板に立てること自体間違ってない?
俺だったら材料・物性板か機械・工学板に立てるけど。

2 :Nanashi_et_al. :2001/07/12(木) 08:13
 埋め込み酸化膜の下が通常のSOI基板では、Si基板なところを金属に
したものが金属SOI基板といっているもののはず。Si基板だと容量が見
えてしまうので、金属にすれば高速化できるといった話だったと思ったので
すが・・・。

3 :名も無きマテリアルさん:2001/07/13(金) 17:03
放熱って効果もあるのかな?
容量って寄生容量とかそういう話しかと思うんだけど
俺はよく理解してないが、その金属の(電気的?)特性
としてはどういうのが求められるんだろう。その他、
熱膨張も重要になってくるよね。

もっと具体的には、金属として何を使えばいいんだろう?

4 :名も無きマテリアルさん:2001/07/16(月) 00:11
ありがとうございました。
やはり、土台が金属基板なんですね。

5 :名も無きマテリアルさん:2001/07/16(月) 10:36
究極がそうなんだろうけど、つくるの難しそうだね。
回路の方の空気絶縁層も然り。

6 :名も無きマテリアルさん:01/11/28 16:56
インテルとかが研究してて、金属基板酸化絶縁膜上の薄いSi膜(SOI)だと高速なトランジスタを作れるらしい。

7 :名も無きマテリアルさん:01/11/30 04:09

「silicon on insulator」のことだろ?

8 :名も無きマテリアルさん:01/11/30 04:48
>7
もうちょっと勉強してから、また書きこみに来てね。

9 :名も無きマテリアルさん:01/11/30 05:00
>6
Intelのは所謂「Depleted substrate transistor」って
奴だと思うけど、基板、絶縁層ってそれぞれ材料は何なの?
おまけに一体どうやって造るの?知ってたら教えてちょんまげ。

10 :名も無きマテリアルさん:01/11/30 05:01
>6
9だけど付けたし。
Intelのって本当に基板は金属?

11 :名も無き電顕屋:01/11/30 10:04
SOIっていえば、スマートカットはどうなったのかな?

12 :名も無きマテリアルさん:01/12/01 04:50
人工ダイヤモンドを基板にしても、高速化は可能だろ。

13 :名も無きマテリアルさん:01/12/03 13:37
>>9-10
Intelのって金属じゃないっぽいよ。

>>6
もし良かったら金属だって判断した理由を教えて。

14 :名も無きマテリアルさん:01/12/04 08:48
>9
基板はもちろんシリコンさ。
絶縁層は知らん。

15 :名も無きマテリアルさん:01/12/04 12:21

9だけど、「もちろんシリコン」だったらスレ違いじゃん。
あなたは6さんではないのかな?

16 :14だが:01/12/07 04:56
Inteで扱っているSOIのことを言ってるのさ。
すれ違いならスマソ。

17 :名も無きマテリアルさん:01/12/15 23:57
>>12
インテルのは、Si基板上で酸化絶縁膜、Si膜、ZrO2ゲート絶縁膜で、
各社Si膜上下の酸化絶縁材料の、さらに高速で、低漏れ電流、
つまり低発熱で低消費電力な材料を研究してて、ゲート長16nm程度で
スイッチング時間が0.5ps以下程度と非常に高速。
ダイヤモンド基板では、それほどの高速は無理では。

18 :名も無きマテリアルさん:02/09/21 05:30
絶縁層の部分がSiO2でなくAlO3のものがあるからそれなのかも?
もしくはソース・ドレイン部分が金属のショットキートランジスターを作り込んでるのか?
気になるなぁ。

19 :名も無きマテリアルさん:02/09/21 07:52
>>18
絶縁層が酸化膜・Al2O3・サファイヤ・窒化膜であるもの総てひっくるめてSOI。
頭に金属をつけるくらいだからもっと別のものだろ。

20 :名も無きマテリアルさん:02/09/21 08:26
どうでもいいけど、シリコン並みに安くて大量に作れるものでないと
やっても意味ないと思われる。


21 :Nanashi_et_al. :02/10/07 22:22
久しぶりにのぞいてみたら、まだこのスレ生きているのですね。
ttp://ne.nikkeibp.co.jp/NE/2000/000131/kouza.html
に書いてあるのが、金属SOI基板でしょ。


22 :名も無きマテリアルさん:03/04/26 13:02
金属基板にすると半導体基板と比べて抵抗値が劇的に下がるので、
時定数が短くなるのです。SOIのばあい、活性層と支持基盤は容量
結合しており、支持基板はGNDに落とすので、結果として回路の帯
域を広げることができます。

が、この基板が使われるのは性能最優先のごく一部の製品だけに
なるでしょうな。

23 :名も無きマテリアルさん:03/08/11 15:45
何が痛くてしょうがないヤツだ。
いちいちいちいち荒れそうなレスをするんじゃあねーぞクズが!
こっちはなぁ、クズな厨房とクズな削除人のせいでイラついてんだよ。
ヲチスレで叩きやって怒りを治めて何が悪いと言うのだ?
目糞鼻糞だろうが、荒れないよう配慮してる分お前より上等なんだよクズが!!!
氏ね!クズが!
お前のような低脳がいるから荒らしは収まらないんだよ!
つーかな、おまえは荒らしか? バカか?
あああああああああああ とにかくイラつく!!!!!!!!

全部氏ねや!!! いちいち頭の悪いまま生き延びてんじゃあないッ!!

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